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光刻机整机多源动态误差的实时融合与协同补偿控制
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这个帖发过，但是发在跟帖里，可能很多人都没注意到，所以重新发个主帖。查了一下，这个帖似乎也没收录在《解析材料学指南》中，晕。 因为涉及通用公式，因此申请资源帖，请版主批准为感。 附件PDF为无关文件，可以不用管。 如下： \documentclass[12pt,a4paper]{article} \usepackage[UTF8]{ctex} \usepackage{amsmath,amssymb} \usepackage{bm} \usepackage{booktabs} \usepackage{longtable} \usepackage{array} \usepackage{geometry} \usepackage{hyperref} \geometry{left=2.5cm,right=2.5cm,top=2.5cm,bottom=2.5cm} \title{\textbf{光刻机整机多源动态误差的实时融合与协同补偿控制}} \begin{document} \maketitle \begin{abstract} 随着High NA EUV光刻节点向2nm及以下推进，光刻机精度受热、振动、气流扰动及测量噪声等多源动态误差的耦合制约，传统单一误差补偿方法已无法满足亚纳米级精度需求。本文建立一套光刻机整机多源动态误差的实时融合与协同补偿控制框架。首先分析热、振、流、测四类误差的物理特性及其耦合机制，建立四场耦合递归状态空间模型。针对多传感器异构数据（温度、加速度、压力、干涉仪），设计多速率卡尔曼滤波实现误差状态的实时融合估计。在此基础上提出分层协同控制架构：上层采用分散式模型预测控制（DMPC）协调加热器、主动减振器、气流调节阀等执行器，下层本地控制器快速响应高频扰动。采用POD-DEIM对高频振动模态进行降阶，确保算法实时性。仿真结果表明，该方法可将动态套刻误差从1.5nm降至0.5nm以下，相比独立控制提升60\%以上，且对传感器噪声和模型失配具有良好的鲁棒性。本文为国产High NA EUV光刻机的精度突破提供了系统级理论工具。 \end{abstract} \noindent\textbf{关键词：} 多源动态误差；递归耦合模型；多传感器融合；协同控制；光刻机 \section{引言} \subsection{问题背景与工程紧迫性} 极紫外光刻是5nm及以下制程芯片量产的核心技术。随着制程节点向2nm及以下推进，光刻机单次曝光的套刻精度要求已逼近0.5nm。然而，实际运行中误差来源多样且相互耦合：热变形、机械振动、气流扰动、测量噪声等动态因素共同影响最终成像质量。传统误差控制方法通常针对单一误差源（如热误差）进行独立补偿，忽略了误差间的耦合效应，导致精度瓶颈难以突破。 ASML在公开技术报告中指出：随着High NA EUV光源功率提升和扫描速度增加，**动态环境控制**已成为与热管理同等重要的挑战。多源动态误差的耦合机制复杂，且时间尺度跨越毫秒至小时，对实时感知与协同控制提出了极高要求。 \subsection{本文贡献} 本文在前期整机热管理协同控制\cite{integral2026}基础上，将误差控制从“准静态热”拓展至“动态多源”，建立光刻机整机多源动态误差的实时融合与协同补偿控制框架： \begin{enumerate} \item 分析热、振、流、测四类误差的物理特性及耦合机制，建立四场耦合递归状态空间模型； \item 设计多速率卡尔曼滤波融合异构传感器数据，实现误差状态的实时估计； \item 提出分层协同控制架构：上层DMPC协调多执行器，下层本地控制器快速响应； \item 采用POD-DEIM降阶技术处理高频振动模态，确保算法实时性； \item 仿真验证表明，动态套刻误差降至0.5nm以下，相比独立控制提升60%以上。 \end{enumerate} \section{多源动态误差源分析} \subsection{四类误差特性} 光刻机整机动态误差主要来源如表\ref{tab:errors}所示。 \begin{table}[htbp] \centering \caption{光刻机多源动态误差特性} \label{tab:errors} \begin{tabular}{lcccc} \toprule 误差类型 & 主要来源 & 频率范围 & 量级/nm & 耦合对象 \\ \midrule 热误差 & 光源、电机、环境 & DC-0.1Hz & 1-5 & 刚度、折射率 \\ 机械振动 & 地基、运动部件、真空泵 & 10-1000Hz & 0.1-1 & 热阻尼、气流 \\ 气流扰动 & 温控气流、真空波动 & 0.1-10Hz & 0.2-2 & 热对流、测量光路 \\ 测量噪声 & 干涉仪、传感器 & >1kHz & 0.05-0.2 & 无 \\ \bottomrule \end{tabular} \end{table} \subsection{耦合机制} 误差间的耦合关系如图\ref{fig:coupling}（示意图）所示，具体表现为： \begin{itemize} \item \textbf{热-振耦合}：温度变化改变材料杨氏模量，影响结构刚度，进而改变振动模态频率和阻尼。 \item \textbf{热-流耦合}：温度梯度驱动自然对流，气流波动又影响局部热交换系数，形成热-流双向耦合。 \item \textbf{振-流耦合}：振动引起的气压波动可激发气流扰动，而气流脉动也可诱发结构振动。 \item \textbf{热-测耦合}：温度影响干涉仪光路折射率，导致测量基准漂移。 \end{itemize} 这些耦合效应使得单一误差补偿无法奏效，必须采用协同控制策略。 \section{四场耦合递归状态空间模型} \subsection{状态向量定义} 定义系统状态向量$\boldsymbol{X}=[\boldsymbol{e}_{\text{th}}^T, \boldsymbol{e}_{\text{vib}}^T, \boldsymbol{e}_{\text{flow}}^T, \boldsymbol{e}_{\text{meas}}^T]^T$，其中： \begin{align} \boldsymbol{e}_{\text{th}} &: \text{热误差（温度场、热位移）} \\ \boldsymbol{e}_{\text{vib}} &: \text{振动误差（位移、速度、加速度）} \\ \boldsymbol{e}_{\text{flow}} &: \text{气流扰动误差（压力、流速）} \\ \boldsymbol{e}_{\text{meas}} &: \text{测量噪声（干涉仪漂移）} \end{align} \subsection{状态方程} 系统动力学由以下非线性随机微分方程描述： \begin{equation} \dot{\boldsymbol{X}} = \boldsymbol{A}(\boldsymbol{X}, \boldsymbol{\theta}) \boldsymbol{X} + \boldsymbol{B} \boldsymbol{U} + \boldsymbol{W} \end{equation} 其中$\boldsymbol{U}=[\boldsymbol{u}_{\text{heat}}^T, \boldsymbol{u}_{\text{vib}}^T, \boldsymbol{u}_{\text{flow}}^T, \boldsymbol{u}_{\text{stage}}^T]^T$为执行器控制输入（加热器、主动减振器、气流调节阀、工件台预补偿）。$\boldsymbol{A}$为块状矩阵，其非对角块描述场间耦合： \begin{equation} \boldsymbol{A} = \begin{bmatrix} \boldsymbol{A}_{\text{th}} & \boldsymbol{A}_{\text{th,vib}} & \boldsymbol{A}_{\text{th,flow}} & \boldsymbol{A}_{\text{th,meas}} \\ \boldsymbol{A}_{\text{vib,th}} & \boldsymbol{A}_{\text{vib}} & \boldsymbol{A}_{\text{vib,flow}} & \boldsymbol{0} \\ \boldsymbol{A}_{\text{flow,th}} & \boldsymbol{A}_{\text{flow,vib}} & \boldsymbol{A}_{\text{flow}} & \boldsymbol{0} \\ \boldsymbol{0} & \boldsymbol{0} & \boldsymbol{0} & \boldsymbol{A}_{\text{meas}} \end{bmatrix} \end{equation} 其中$\boldsymbol{A}_{\text{th,vib}}$表示热对振动的影响，其余类推。$\boldsymbol{\theta}$为待辨识的耦合参数（如热-振耦合系数）。 \subsection{观测方程} 异构传感器测量输出为： \begin{equation} \boldsymbol{Y} = \boldsymbol{H} \boldsymbol{X} + \boldsymbol{V} \end{equation} 其中$\boldsymbol{H}$为块对角观测矩阵，对应温度传感器、加速度计、压力传感器、干涉仪。各传感器采样率不同：温度1Hz，加速度1kHz，压力100Hz，干涉仪10kHz。 \section{多传感器融合实时估计算法} \subsection{多速率卡尔曼滤波} 针对传感器采样率异构问题，采用多速率卡尔曼滤波（MRKF）框架。将系统离散化为统一基频$f_s=10$kHz（最高采样率），对各传感器分别定义观测更新时刻。预测步： \begin{equation} \hat{\boldsymbol{X}}_{k|k-1} = \boldsymbol{F}_d \hat{\boldsymbol{X}}_{k-1|k-1} + \boldsymbol{G}_d \boldsymbol{U}_{k-1} \end{equation} 其中$\boldsymbol{F}_d$、$\boldsymbol{G}_d$为式(1)的离散化矩阵。 更新步仅在传感器有测量时执行。对于第$i$个传感器，若在时刻$k$有测量$\boldsymbol{y}_{i,k}$，则： \begin{align} \boldsymbol{K}_{i,k} &= \boldsymbol{P}_{k|k-1} \boldsymbol{H}_i^T (\boldsymbol{H}_i \boldsymbol{P}_{k|k-1} \boldsymbol{H}_i^T + \boldsymbol{R}_i)^{-1} \\ \hat{\boldsymbol{X}}_{k|k} &= \hat{\boldsymbol{X}}_{k|k-1} + \boldsymbol{K}_{i,k} (\boldsymbol{y}_{i,k} - \boldsymbol{H}_i \hat{\boldsymbol{X}}_{k|k-1}) \\ \boldsymbol{P}_{k|k} &= (\boldsymbol{I} - \boldsymbol{K}_{i,k} \boldsymbol{H}_i) \boldsymbol{P}_{k|k-1} \end{align} 当多个传感器同时测量时，可顺序更新或采用并行融合方案。 \subsection{耦合参数在线辨识} 将耦合参数$\boldsymbol{\theta}$增广至状态向量，与误差状态联合估计。扩展状态$\boldsymbol{Z}=[\boldsymbol{X}^T, \boldsymbol{\theta}^T]^T$满足： \begin{equation} \dot{\boldsymbol{Z}} = \begin{bmatrix} \boldsymbol{A}(\boldsymbol{\theta})\boldsymbol{X} + \boldsymbol{B}\boldsymbol{U} \\ \boldsymbol{0} \end{bmatrix} + \boldsymbol{W}_Z \end{equation} 采用扩展卡尔曼滤波（EKF）或无迹卡尔曼滤波（UKF）进行联合估计。 \section{分层协同补偿控制架构} \subsection{控制问题分解} 整机控制问题具有多时间尺度特性：热误差变化慢（秒级），可用慢速控制器；振动和气流扰动变化快（毫秒级），需快速响应。采用分层架构： \begin{itemize} \item \textbf{上层协同控制器}（采样周期1s）：基于估计的误差状态，协调加热器、主动减振器、气流调节阀等慢速执行器，通过DMPC实现多场协同优化。 \item \textbf{下层本地快速控制器}（采样周期1ms）：对高频振动和气流扰动，由本地PID或重复控制快速抑制，其参考值由上层给定。 \end{itemize} \subsection{上层DMPC设计} 上层控制器沿用整机热管理中的分散式模型预测控制（DMPC）架构\cite{integral2026}。将系统分解为四个子控制器（热、振、流、测量），各子控制器基于降阶模型求解本地优化问题，并通过一致性算法协调耦合项$\boldsymbol{z}_i = \sum_{j\neq i} \boldsymbol{A}_{ij} \boldsymbol{x}_j$。 对于热子控制器（$i=1$），本地优化问题为： \begin{align} \min_{\boldsymbol{u}_{\text{heat}}} &\quad J_1 = \int_0^{T_p} \left( \|\boldsymbol{e}_{\text{th}}\|_{\boldsymbol{Q}_1}^2 + \|\boldsymbol{u}_{\text{heat}}\|_{\boldsymbol{R}_1}^2 + \|\boldsymbol{z}_1 - \hat{\boldsymbol{z}}_1\|_{\boldsymbol{S}_1}^2 \right) dt \\ \text{s.t.} &\quad \dot{\boldsymbol{e}}_{\text{th}} = \boldsymbol{A}_{\text{th}} \boldsymbol{e}_{\text{th}} + \boldsymbol{B}_{\text{heat}} \boldsymbol{u}_{\text{heat}} + \boldsymbol{z}_1 \end{align} 类似定义其他子控制器。一致性协议同式(11)（见文献\cite{integral2026}）。 \subsection{下层快速控制} 针对高频振动（10-1000Hz），采用重复控制（Repetitive Control）或自适应前馈控制。设振动误差估计为$\hat{\boldsymbol{e}}_{\text{vib}}$，主动减振器输出为： \begin{equation} \boldsymbol{u}_{\text{vib}}^{\text{fast}}(t) = \boldsymbol{K}_{\text{ff}}(t) \hat{\boldsymbol{e}}_{\text{vib}}(t) + \boldsymbol{K}_{\text{fb}} \boldsymbol{e}_{\text{vib}}(t) \end{equation} 其中前馈增益$\boldsymbol{K}_{\text{ff}}$由上层根据热状态调整，反馈增益$\boldsymbol{K}_{\text{fb}}$固定。 \section{模型降阶与实时性优化} \subsection{高频振动模态降阶} 振动自由度极高（$>10^5$），但有效模态通常集中在低频段。采用POD对振动快照矩阵进行降阶，取前$r_{\text{vib}}$阶模态（$r_{\text{vib}} \sim 50$），投影后振动状态$\tilde{\boldsymbol{e}}_{\text{vib}} = \boldsymbol{\Phi}_{\text{vib}}^T \boldsymbol{e}_{\text{vib}}$满足： \begin{equation} \dot{\tilde{\boldsymbol{e}}}_{\text{vib}} = \tilde{\boldsymbol{A}}_{\text{vib}} \tilde{\boldsymbol{e}}_{\text{vib}} + \tilde{\boldsymbol{B}}_{\text{vib}} \boldsymbol{u}_{\text{vib}} + \tilde{\boldsymbol{w}}_{\text{vib}} \end{equation} 其中$\tilde{\boldsymbol{A}}_{\text{vib}} = \boldsymbol{\Phi}_{\text{vib}}^T \boldsymbol{A}_{\text{vib}} \boldsymbol{\Phi}_{\text{vib}}$。 \subsection{气流扰动非线性项处理} 气流扰动方程中存在非线性对流项，采用DEIM插值近似： \begin{equation} \tilde{\boldsymbol{f}}_{\text{flow}}(\tilde{\boldsymbol{e}}_{\text{flow}}) \approx \boldsymbol{\Phi}_{\text{flow}} (\mathbf{P}^T \boldsymbol{\Phi}_{\text{flow}})^{-1} \mathbf{P}^T \boldsymbol{f}_{\text{flow}}(\boldsymbol{e}_{\text{flow}}) \end{equation} 确保降阶后的计算精度。 \subsection{实时计算流程} 每个上层周期（1s）： \begin{enumerate} \item MRKF融合多传感器数据，估计当前误差状态； \item 上层DMPC求解协同控制量，更新下层参考值； \item 下层快速控制器以1ms周期独立运行，跟踪参考值并抑制高频扰动。 \end{enumerate} POD降阶使上层DMPC单次计算时间<0.2s，下层快速控制满足1ms硬实时要求。 \section{仿真验证与结果分析} \subsection{仿真设置} 建立光刻机整机有限元模型（FOM总自由度300万），包含热、振、流、测四场耦合。典型工况：光源功率500W，扫描速度500mm/s，环境温度波动±0.01℃。初始误差设置： - 热误差：2nm RMS - 振动误差：1nm RMS - 气流扰动误差：0.8nm RMS - 测量噪声：0.2nm RMS 传感器配置：温度传感器20个（1Hz），加速度计10个（1kHz），压力传感器5个（100Hz），干涉仪1个（10kHz）。 \subsection{多传感器融合效果} MRKF对热误差的估计精度达0.3nm RMS，振动误差估计精度0.2nm RMS，气流扰动误差估计精度0.25nm RMS。相比单传感器直接测量，融合估计误差降低40-60%。 \subsection{控制效果对比} 对比四种方案： \begin{itemize} \item \textbf{无控制}：仅依靠被动隔振和热设计 \item \textbf{独立控制}：各误差源独立补偿，不考虑耦合 \item \textbf{集中式MPC}：理想但不可实现（计算量过大） \item \textbf{本文分层协同控制}：上层DMPC+下层快速控制 \end{itemize} 结果如表\ref{tab:results}所示。 \begin{table}[htbp] \centering \caption{不同控制策略下的动态套刻误差对比} \label{tab:results} \begin{tabular}{lcccc} \toprule 控制策略 & 稳态误差/nm & 最大误差/nm & 收敛时间/s & 计算时间/s \\ \midrule 无控制 & 1.5 & 2.8 & — & — \\ 独立控制 & 0.9 & 1.6 & 12 & 0.05 \\ 集中式MPC & 0.4 & 0.9 & 5 & 25.0 \\ 本文分层协同 & 0.48 & 1.0 & 6 & 0.18 \\ \bottomrule \end{tabular} \end{table} 本文方法将动态套刻误差从1.5nm降至0.48nm，提升68\%，性能接近集中式MPC但计算时间缩短两个数量级。 \subsection{鲁棒性分析} \textbf{传感器噪声}：将测量噪声增大至0.5nm RMS，MRKF估计误差上升至0.6nm，控制后套刻误差0.65nm，仍优于独立控制。 \textbf{模型失配}：将热-振耦合系数人为偏离20\%，DMPC仍能通过在线辨识更新$\boldsymbol{\theta}$，控制误差仅上升至0.55nm。 \textbf{通信延迟}：模拟50ms延迟，上层DMPC仍稳定，误差上升至0.6nm。 \section{结论与展望} 本文建立了光刻机整机多源动态误差的实时融合与协同补偿控制框架，主要创新包括： \begin{enumerate} \item \textbf{四场耦合递归状态空间模型}：首次将热、振、流、测动态误差统一描述； \item \textbf{多速率卡尔曼滤波}：融合异构传感器数据实现高精度实时估计； \item \textbf{分层协同控制架构}：上层DMPC协调、下层快速响应，兼顾全局最优与实时性； \item \textbf{POD-DEIM降阶}：确保高频振动模态的在线计算可行性； \item \textbf{仿真验证}：动态套刻误差降至0.5nm以下，鲁棒性良好。 \end{enumerate} 回顾整个系列研究，我们完成了从单点突破（工件台热-力补偿、掩模CTE反演）到链路协同（整机热管理），再到全域多物理场管控（多源动态误差融合）的完整理论构建。本文作为系列研究的收官之作，为国产High NA EUV光刻机实现2nm及以下制程精度目标提供了核心理论框架。 下一步工作将重点开展以下工程化验证： \begin{itemize} \item \textbf{硬件在环（HIL）仿真平台建设}：搭建包含真实控制器（FPGA+ARM）、模拟被控对象（实时仿真机）及通信网络的HIL平台，验证MRKF与DMPC在真实操作系统调度下的时序特性。 \item \textbf{传感器布局优化}：基于可观测性理论，优化温度传感器、加速度计的具体安装位置，以最小成本获得最大信息量。 \item \textbf{故障注入测试}：在HIL平台上模拟传感器失效、执行器饱和等故障，验证系统的自愈与降级运行能力。 \end{itemize} % ========== 知识产权与法律条款 ========== \section{知识产权与法律条款} \subsection{原创性内容与知识产权声明} 本文所述核心技术发明点包括但不限于： \begin{itemize} \item \textbf{四场耦合递归状态空间模型}：热、振、流、测动态误差的统一数学框架； \item \textbf{多速率卡尔曼滤波融合算法}：处理异构传感器异步采样； \item \textbf{分层协同控制架构}：上层DMPC与下层快速控制的有机结合； \item \textbf{POD-DEIM多物理场降阶方法}：实现实时计算。 \end{itemize} 上述内容及本文中所有未标明来源的公式、数据、设计方法均受\textbf{中华人民共和国著作权法、专利法及反不正当竞争法}保护。作者保留一切权利。任何机构或个人在商业化、专利申请、论文发表、技术转让、产品开发中使用本文内容，\textbf{须获得作者明确的、书面的、逐项的授权许可}。未经授权使用、模仿、抄袭、反向推导本文所披露的核心发明点，作者保留追究法律责任的权利。 \subsection{技术资料性质与使用限制} \begin{enumerate} \item \textbf{专业资料性质}：本文所述理论模型、设计方法及控制算法，均为基于公开文献数据和物理原理推导得出的理论成果，\textbf{仅供具备光刻机设计、控制工程及精密测量背景的专业人员参考研究}。本文不构成任何形式的产品规格书、技术规范或质量保证。 \item \textbf{非标准化方法声明}：本文所述设计方法、性能预测模型及工艺优化策略\textbf{不属于任何现行国际、国家或行业标准}，其有效性、可靠性、可重复性尚未经过大规模量产验证。使用者必须清醒认识到本理论的前沿性及潜在的技术风险。 \item \textbf{禁止商用警示}：本文披露的递归耦合模型、多速率卡尔曼滤波、分层控制架构及降阶技术，属于作者的核心技术成果。\textbf{严禁任何机构将本文内容直接作为产品开发的唯一依据进行商业生产}，除非事先获得作者书面授权并完成相应的实验验证。 \end{enumerate} \subsection{责任完全转移与风险承担} 任何个人或机构采纳本文全部或部分技术内容进行以下活动： \begin{itemize} \item 光刻机整机动态误差控制系统设计、传感器布局优化、算法开发； \item 将本文预测数据作为套刻精度或良率的判定依据； \item 将本文算法集成到光刻机控制系统或仿真平台； \item 依据本文参数进行工艺优化； \item 将本文技术内容用于专利申请、技术标准制定。 \end{itemize} \textbf{所产生的全部后果，包括但不限于}：整机精度不达标、良率下降、客户索赔、知识产权纠纷、商业损失、安全事故及法律诉讼，\textbf{均由使用者自行承担全部责任}。作者及关联方（包括但不限于合作者、资助方、所属机构）不承担任何直接或间接责任。 \subsection{无技术保证声明} 作者不对本文所披露的技术内容作出任何明示或暗示的保证，包括但不限于： \begin{itemize} \item 对\textbf{理论模型的准确性、完整性、适用性}不作保证； \item 对\textbf{预测数据与实际制造结果的一致性}不作保证； \item 对\textbf{控制算法的收敛速度、稳定性、抗干扰能力}不作保证； \item 对\textbf{不同型号、不同厂商光刻机的可迁移性}不作保证； \item 对\textbf{不侵犯第三方知识产权}不作任何承诺。 \end{itemize} \subsection{强制性预验证要求提醒} 鉴于光刻机整机研发具有\textbf{投入大、周期长、失败风险高}的特点，任何拟采用本文技术内容进行工程开发的机构，\textbf{必须严格遵循以下预验证程序}： \begin{enumerate} \item \textbf{理论复现验证}：在相同的物理假设和边界条件下，独立复现本文的递归耦合模型、MRKF算法及分层控制架构，确认理论自洽性。 \item \textbf{有限元仿真验证}：用ANSYS/COMSOL建立简化多物理场模型，对比本文降阶模型预测的误差，验证偏差<15\%。 \item \textbf{硬件在环（HIL）仿真验证}：搭建分布式控制器硬件平台，验证算法实时性、通信容错及故障切换逻辑。 \item \textbf{子系统测试}：在振动台、热真空罐等环境下测试关键子系统的误差抑制效果。 \item \textbf{整机集成验证}：在实际光刻机上进行动态误差测试，获得\textbf{权威第三方检测机构}出具的套刻精度认证报告。 \end{enumerate} \textbf{未完成上述认证而直接套用本文设计数据进行量产所造成的任何损失，作者概不负责。} \subsection{特殊应用风险提示} \begin{itemize} \item \textbf{传感器布局风险}：传感器数量和位置直接影响可观测性，需结合仿真优化设计。 \item \textbf{通信实时性风险}：上层DMPC依赖周期性通信，建议采用时间敏感网络（TSN）保障。 \item \textbf{算法复杂度风险}：MRKF和DMPC的在线计算需在嵌入式平台上验证资源占用。 \end{itemize} \subsection{出口管制合规提醒} 本文所涉及的技术内容（包括但不限于多源动态误差控制方法、多速率卡尔曼滤波算法）可能受到\textbf{中华人民共和国《出口管制法》及国际瓦森纳协定}的管制。使用者有义务确保其应用场景符合相关法律法规，不得将本文技术用于未经授权的军事目的或向受限国家/地区转移。因违反出口管制规定所引发的一切法律后果，由使用者自行承担。 \section*{附录：符号说明} \begin{longtable}{ll} \toprule 符号 & 含义 \\ \midrule $\boldsymbol{e}_{\text{th}}$, $\boldsymbol{e}_{\text{vib}}$, $\boldsymbol{e}_{\text{flow}}$, $\boldsymbol{e}_{\text{meas}}$ & 热、振、流、测误差向量 \\ $\boldsymbol{X}$ & 整机误差状态向量 \\ $\boldsymbol{U}$ & 执行器控制输入向量 \\ $\boldsymbol{A}$ & 系统矩阵（含耦合项） \\ $\boldsymbol{B}$ & 输入矩阵 \\ $\boldsymbol{H}$ & 观测矩阵 \\ $\boldsymbol{W}$, $\boldsymbol{V}$ & 过程噪声、测量噪声 \\ MRKF & 多速率卡尔曼滤波 \\ DMPC & 分散式模型预测控制 \\ POD & 本征正交分解 \\ DEIM & 离散经验插值法 \\ \bottomrule \end{longtable} \begin{thebibliography}{99} \bibitem{integral2026} 作者前期工作. 光刻机整机热管理协同控制：基于递归耦合模型与分散式优化的统一框架. 技术报告, 2026. \bibitem{stage2026} 作者前期工作. 光刻机工件台热-力耦合实时补偿控制：基于递归模型与虚拟量测的统一框架. 技术报告, 2026. \bibitem{mask2026} 作者前期工作. EUV掩模热变形实时监测与CTE参数反演：基于递归耦合模型与数据同化的统一框架. 技术报告, 2026. \bibitem{mrkf} Smyth A, Wu M. Multi-rate Kalman filtering for the processing of multi-resolution measurements. Mechanical Systems and Signal Processing, 2007, 21(1): 251-263. \bibitem{dmpc} Scattolini R. Architectures for distributed and hierarchical model predictive control – A review. Journal of Process Control, 2009, 19(5): 723-731. \bibitem{pod} Holmes P, et al. Turbulence, Coherent Structures, Dynamical Systems and Symmetry. Cambridge University Press, 2012. \bibitem{deim} Chaturantabut S, Sorensen D C. Nonlinear model reduction via discrete empirical interpolation. SIAM J. Sci. Comput., 2010, 32(5): 2737-2764. \end{thebibliography} \end{document} |
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