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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 磁控溅射合金靶材不起辉
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kyxioabai

新虫 (著名写手)
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磁控溅射合金靶材不起辉
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使用直流磁控溅射，靶材为合金靶材，打开直流控制电源，只有电流没有电压，请问是什么原因呢

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1楼2020-07-04 19:22:25
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小米0锅巴

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
短路了？还是气体密度不够？
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29楼2020-07-06 13:04:22
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hbsfit

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
可能是靶的阳极罩短路，或者是靶材不易起辉，适当提高工作气压，起辉后再降回去。不行改用射频
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30楼2020-07-06 13:36:09
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kyxioabai

新虫 (著名写手)
引用回帖:
30楼: Originally posted by hbsfit at 2020-07-06 13:36:09
可能是靶的阳极罩短路，或者是靶材不易起辉，适当提高工作气压，起辉后再降回去。不行改用射频

罩子离得太近短路了

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31楼2020-07-06 23:22:40
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kyxioabai

新虫 (著名写手)
引用回帖:
29楼: Originally posted by 小米0锅巴 at 2020-07-06 13:04:22
短路了？还是气体密度不够？

罩子离得太近短路了

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32楼2020-07-06 23:22:54
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bobo201266

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般是短路或者压力不够

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86楼2020-10-18 19:37:43
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sciencetechn

新虫 (小有名气)
短路的可能性大，检查真空度够不够，溅射功率是否达到要求
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94楼2020-12-24 10:43:37
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tzynew2楼
2020-07-04 19:23   回复  
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183261577693楼
2020-07-04 19:38   回复  
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emmetchen4楼
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DF115楼
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云在青天6楼
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6804167楼
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felgsy8楼
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星星女孩9楼
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wugong10楼
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XULEI_12211楼
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zhaoyan197812楼
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斓曦201913楼
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weimu101214楼
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chuyjlut15楼
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wyj97016楼
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nono200921楼
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