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磁控溅射合金靶材不起辉
南方科技大学公共卫生及应急管理学院2025级博士研究生招生报考通知
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kyxioabai
新虫
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(幼儿园)
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使用直流磁控溅射,靶材为合金靶材,打开直流控制电源,只有电流没有电压,请问是什么原因呢
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1楼
2020-07-04 19:22:25
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hbsfit
新虫
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金币: 899.1
帖子: 193
在线: 18.8小时
虫号: 10264873
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可能是靶的阳极罩短路,或者是靶材不易起辉,适当提高工作气压,起辉后再降回去。不行改用射频
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30楼
2020-07-06 13:36:09
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tzynew
2楼
2020-07-04 19:23
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18326157769
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2020-07-04 19:38
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emmetchen
4楼
2020-07-04 19:44
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DF11
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2020-07-04 19:47
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云在青天
6楼
2020-07-04 19:48
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680416
7楼
2020-07-04 19:58
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felgsy
8楼
2020-07-04 20:10
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星星女孩
9楼
2020-07-04 20:13
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wugong
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2020-07-04 20:28
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XULEI_122
11楼
2020-07-04 20:58
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zhaoyan1978
12楼
2020-07-04 21:38
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斓曦2019
13楼
2020-07-04 21:47
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weimu1012
14楼
2020-07-05 00:09
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