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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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kyxioabai

新虫 (著名写手)


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磁控溅射合金靶材不起辉
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使用直流磁控溅射,靶材为合金靶材,打开直流控制电源,只有电流没有电压,请问是什么原因呢

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kyxioabai

新虫 (著名写手)


引用回帖:
30楼: Originally posted by hbsfit at 2020-07-06 13:36:09
可能是靶的阳极罩短路,或者是靶材不易起辉,适当提高工作气压,起辉后再降回去。不行改用射频

罩子离得太近短路了

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31楼2020-07-06 23:22:40
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kyxioabai

新虫 (著名写手)


引用回帖:
29楼: Originally posted by 小米0锅巴 at 2020-07-06 13:04:22
短路了?还是气体密度不够?

罩子离得太近短路了

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32楼2020-07-06 23:22:54
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