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xiaohouzidz

金虫 (小有名气)


[交流] 原子层沉积(ALD)

我平时主要用ALD沉积氧化物,比如氧化铝、氧化铪、氧化锆、氧化钛、氮化钛;以上氧化物在平面上沉积的薄膜各方面质量都非常好。最近在给一家公司做技术服务的时候,发现生长的柱体样品的时候会有轻微色差,请问是什么原因,谢谢。
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14558276

金虫 (正式写手)



xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
2楼2020-06-10 17:06:14
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xiaohouzidz

金虫 (小有名气)


引用回帖:
2楼: Originally posted by 14558276 at 2020-06-10 17:06:14
真空漏气

平面样品就没事
3楼2020-06-10 17:44:58
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terry_lei

新虫 (初入文坛)



xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
16楼2020-06-28 15:05:12
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yajia13

新虫 (正式写手)



xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
柱状会不会是涡流造成了膜厚差

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17楼2020-06-29 00:03:56
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hbabc4楼
2020-06-10 17:58   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
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tzynew5楼
2020-06-10 18:49   回复  
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syhorchid6楼
2020-06-10 19:15   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
2020-06-11 14:37   回复  
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2020-06-11 15:31   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
2020-06-11 16:12   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
2020-06-11 16:35   回复  
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danghaha11楼
2020-06-11 16:42   回复  
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nono200912楼
2020-06-11 18:23   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
·
psylhh13楼
2020-06-11 22:26   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
尚辑SCI14楼
2020-06-12 09:12   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
o看i15楼
2020-06-13 04:17   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
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kaypu18楼
2020-07-04 08:49   回复  
引用回帖:
17楼: Originally posted by yajia13 at 2020-06-29 00:03:56 柱状会不会是涡流造成了膜厚差

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