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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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xiaohouzidz

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[交流] 原子层沉积(ALD)

我平时主要用ald沉积氧化物,比如氧化铝、氧化铪、氧化锆、氧化钛、氮化钛;以上氧化物在平面上沉积的薄膜各方面质量都非常好。最近在给一家公司做技术服务的时候,发现生长的柱体样品的时候会有轻微色差,请问是什么原因,谢谢。

补充氮化钛的速率交流一下

[ Last edited by xiaohouzidz on 2023-11-4 at 09:13 ]
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14558276

木虫 (正式写手)



xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
2楼2020-06-10 17:06:14
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