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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有没有比较好的，大面积均匀的百纳米的加工技术，图样要多样化。
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nkqijw

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 有没有比较好的，大面积均匀的百纳米的加工技术，图样要多样化。

有没有类似光刻的技术，能够大面积、均匀地加工到约100nm的微结构阵列的？
图样还不能太单一。如果有谁见过相关文献请不吝赐教！
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我有我道，坚持本心。
1楼 2016-02-22 15:36:05
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hydzp
a
2楼2016-02-22 16:05:24
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dragoncai

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
可以查一下纳米压印相关的资料
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3楼2016-02-22 16:25:36
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nkqijw

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by dragoncai at 2016-02-22 16:25:36
可以查一下纳米压印相关的资料

纳米压印的初始图样还是需要别的方法获得的。
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我有我道，坚持本心。
4楼2016-02-23 08:27:53
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匿名
本帖仅楼主可见
5楼2016-02-23 08:53:26
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H.B._Wang

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
利用AFM摩擦诱导纳米加工可以做一些100纳米的结构
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力求无愧于心！
6楼2016-02-24 12:14:48
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nkqijw

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by H.B._Wang at 2016-02-24 12:14:48
利用AFM摩擦诱导纳米加工可以做一些100纳米的结构

大面积不合适吧，AFM需要写很久很久吧。厘米量级啊。
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我有我道，坚持本心。
7楼2016-02-24 21:14:32
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platino

铁虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
nkqijw: 金币+5 2016-03-09 09:03:23
月牙儿的微笑: 金币-1, 屏蔽内容, 违规存档, 本版不允许留下联系方式，需要联系请站内信。 2016-03-09 13:21:13
本帖内容被屏蔽
8楼2016-03-08 22:46:02
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aladdin2000
。

发自小木虫Android客户端
9楼2016-03-09 07:37:54
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exciting73

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
电子束可以考虑下。
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10楼2016-04-05 12:36:53
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