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nkqijw

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 有没有比较好的,大面积均匀的百纳米的加工技术,图样要多样化。

有没有类似光刻的技术,能够大面积、均匀地加工到约100nm的微结构阵列的?
图样还不能太单一。如果有谁见过相关文献请不吝赐教!
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我有我道,坚持本心。
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nkqijw

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by dragoncai at 2016-02-22 16:25:36
可以查一下纳米压印相关的资料

纳米压印的初始图样还是需要别的方法获得的。
我有我道,坚持本心。
4楼2016-02-23 08:27:53
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dragoncai

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可以查一下纳米压印相关的资料
3楼2016-02-22 16:25:36
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H.B._Wang

银虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
利用AFM摩擦诱导纳米加工可以做一些100纳米的结构
力求无愧于心!
6楼2016-02-24 12:14:48
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nkqijw

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by H.B._Wang at 2016-02-24 12:14:48
利用AFM摩擦诱导纳米加工可以做一些100纳米的结构

大面积不合适吧,AFM需要写很久很久吧。厘米量级啊。
我有我道,坚持本心。
7楼2016-02-24 21:14:32
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