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yswyx

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专业: 半导体微纳机电器件与系统
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

9楼: Originally posted by yjobj at 2016-02-19 16:56:18
恩，因为我这里长晶用的是VGF法，温度梯度比较小，因此内应力也应该比较小，但这只是我直观上的感觉，不知道有什么方法可以验证？
感觉线切割那里的感觉影响因素比较多，如果做实验测试是否需要设计什么正交实验的 ...

同一个晶棒，用不同的切割速度，做一批片子，每个条件做几片。同样的冷却条件也这样做。
因为在做片子的过程中，机械损伤带来的应力，摩擦带来热应力，是最主要的两种应力来源。