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进行XPS测试，刻蚀之后，氧化物峰相对于单质峰的位置变化了 已有2人参与
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采用的是Ge衬底，在上面溅射了一层La2O3，退火以后，界面处会被氧化，形成LaGeOx。如下图中最右边的峰为Ge衬底峰，中间的峰为LaGeOx。图1是表面的XPS，而图2 是刻蚀100s后的XPS，明显观察到LaGeOx和Ge衬底的结合能差从2.66下降到了2.35。另外做的在Ge上淀积Y2O3的样品也观察到相似现象。刻蚀后对氧化物的相对位置会有影响的么？那岂不是很难通过氧化峰相对于单质峰的位置来判断氧化态？ 1.png  2.png |
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匿名
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