24小时热门版块排行榜    

查看: 1493  |  回复: 7

wglsmart

铁虫 (小有名气)

[求助] 请问哪里可以做掩膜板?(散金币了) 已有4人参与

最近要做一个光子晶体器件,简单点说就在二氧化硅上面打圆洞,圆洞直径100nm,需要一个掩膜板,但是对这个圆洞要绝对圆滑,半径起伏粗糙度小于2nm,当然越小越好,钱不是问题,关键是能做,请问有虫子知道哪里能做吗?

散金币了!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

daerbeijita

铁杆木虫 (正式写手)

一般光刻可以达到这个精读?不如EBL吧

发自小木虫Android客户端
**尚未成功,同志仍需努力
2楼2016-01-23 16:09:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

woshiwu

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

直接打洞的话,是不是可以FIB?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
3楼2016-01-24 05:37:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

这个只能上EBL了,而且边缘很难保证光滑,因为EBL的分辨率也就50nm。
4楼2016-01-24 09:04:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sunxiaoyu202

新虫 (初入文坛)

FIB直接写和EBL曝光都成。这两种都不需要掩膜版。都是直写方式。
5楼2016-02-19 17:59:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

苏州MEMS

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

6楼2016-02-19 19:19:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

akatsukiU

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

想必是做压印用了,有现成模板卖的
7楼2016-02-19 20:47:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Diamond_Mine

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by akatsukiU at 2016-02-19 20:47:58
想必是做压印用了,有现成模板卖的

你好,我想问一下,这样的成品哪里有卖的

发自小木虫Android客户端
8楼2016-09-19 14:42:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wglsmart 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 6/300 2026-08-23 14:45 by KM5EcsNQRBPn
[论文投稿] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 8/400 2026-08-23 14:30 by KM5EcsNQRBPn
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 6/300 2026-08-23 14:21 by KM5EcsNQRBPn
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +3 process2012 2026-08-23 4/200 2026-08-23 12:54 by huixian257
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 h4CP7TrQR8Lg 2026-08-22 5/250 2026-08-23 12:09 by LR9qGULyN2ew
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 10/500 2026-08-23 07:17 by OEbVnUOu01ol
[博后之家] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 5/250 2026-08-23 04:07 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 4/200 2026-08-23 04:04 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 5/250 2026-08-23 03:52 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 QTy3jDtz1uLt 2026-08-21 9/450 2026-08-23 03:04 by OEbVnUOu01ol
[基金申请] filecode,4个jtjc了 +13 ziyangfang 2026-08-19 16/800 2026-08-22 17:08 by WH3796
[基金申请] 人气不行了 +8 fansofjerry 2026-08-21 8/400 2026-08-22 16:30 by zyqchem
[基金申请] 时间戳今天,20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +10 kulium 2026-08-21 13/650 2026-08-21 21:58 by alongwaytogo
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 我面上完蛋了 +7 且听虎啸 2026-08-20 8/400 2026-08-21 12:31 by 酷酷墨镜
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 估计是周四 +3 archvillain 2026-08-18 3/150 2026-08-21 01:48 by jnhyjjm
[基金申请] 时间戳变了,能看出什么问题? +18 基诺咪客 2026-08-17 23/1150 2026-08-20 17:19 by Godzela
[基金申请] 重要消息,中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
信息提示
请填处理意见