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wglsmart

铁虫 (小有名气)

[求助] 请问哪里可以做掩膜板?(散金币了) 已有4人参与

最近要做一个光子晶体器件,简单点说就在二氧化硅上面打圆洞,圆洞直径100nm,需要一个掩膜板,但是对这个圆洞要绝对圆滑,半径起伏粗糙度小于2nm,当然越小越好,钱不是问题,关键是能做,请问有虫子知道哪里能做吗?

散金币了!
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woshiwu

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

直接打洞的话,是不是可以FIB?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
3楼2016-01-24 05:37:37
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查看全部 8 个回答

daerbeijita

铁杆木虫 (正式写手)

一般光刻可以达到这个精读?不如EBL吧

发自小木虫Android客户端
**尚未成功,同志仍需努力
2楼2016-01-23 16:09:41
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

这个只能上EBL了,而且边缘很难保证光滑,因为EBL的分辨率也就50nm。
4楼2016-01-24 09:04:21
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sunxiaoyu202

新虫 (初入文坛)

FIB直接写和EBL曝光都成。这两种都不需要掩膜版。都是直写方式。
5楼2016-02-19 17:59:54
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