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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 电镜镀膜换了金靶后，电流极具增大，报警灯亮了，该如何处理？
汕头大学海洋科学接受调剂
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JeremyNan

新虫 (初入文坛)

[求助] 电镜镀膜换了金靶后，电流极具增大，报警灯亮了，该如何处理？ 已有2人参与

电镜配套的离子溅射镀膜仪换了金靶后，用了几次后，金靶变黑了，电流极具增大，报警灯亮了，该如何处理？

电镜镀膜换了金靶后，电流极具增大，报警灯亮了，该如何处理？
电流增大.jpg


电镜镀膜换了金靶后，电流极具增大，报警灯亮了，该如何处理？-1
金靶.jpg
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1楼 2016-01-18 14:29:30
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papaverme

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
真空度正常吗？
比较像可挥发的污染物造成的现象。
仔细清洁一下样品仓和密封圈吧。
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2楼2016-01-18 15:32:07
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JeremyNan

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by papaverme at 2016-01-18 15:32:07
真空度正常吗？
比较像可挥发的污染物造成的现象。
仔细清洁一下样品仓和密封圈吧。

恩恩，我把里面的金靶反过来装，问题解决了，金靶有正反之分？
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3楼2016-01-19 13:53:03
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papaverme

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by JeremyNan at 2016-01-19 13:53:03
恩恩，我把里面的金靶反过来装，问题解决了，金靶有正反之分？...

如果是单独金属片的金靶，一般是不分正反的，但是有可能长期使用之后，有一面污染比较重。
如果是封装的，是有正反的，但是也不可能反着装。
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4楼2016-01-19 17:42:43
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

应该是腔体不干净，或者靶材表面有脏污造成的，一般靶材是不分正反面的
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5楼2019-08-14 10:47:22
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