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电镜镀膜换了金靶后,电流极具增大,报警灯亮了,该如何处理?
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JeremyNan
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电镜镀膜换了金靶后,电流极具增大,报警灯亮了,该如何处理?
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电镜配套的离子溅射镀膜仪换了金靶后,用了几次后,金靶变黑了,电流极具增大,报警灯亮了,该如何处理?
电流增大.jpg
金靶.jpg
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2016-01-18 14:29:30
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papaverme
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真空度正常吗?
比较像可挥发的污染物造成的现象。
仔细清洁一下样品仓和密封圈吧。
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2016-01-18 15:32:07
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JeremyNan
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专业: 无机非金属类电介质与电解
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2楼
:
Originally posted by
papaverme
at 2016-01-18 15:32:07
真空度正常吗?
比较像可挥发的污染物造成的现象。
仔细清洁一下样品仓和密封圈吧。
恩恩,我把里面的金靶反过来装,问题解决了,金靶有正反之分?
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3楼
2016-01-19 13:53:03
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3楼
:
Originally posted by
JeremyNan
at 2016-01-19 13:53:03
恩恩,我把里面的金靶反过来装,问题解决了,金靶有正反之分?...
如果是单独金属片的金靶,一般是不分正反的,但是有可能长期使用之后,有一面污染比较重。
如果是封装的,是有正反的,但是也不可能反着装。
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4楼
2016-01-19 17:42:43
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应该是腔体不干净,或者靶材表面有脏污造成的,一般靶材是不分正反面的
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5楼
2019-08-14 10:47:22
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