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解决硅烷气路漏气问题 已有1人参与
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我们组CVD生长硅纳米线的炉子，用的是纯的硅烷。气路用的不锈钢管，不锈钢球阀。 一直有漏气现象，不知道怎么办。。想问问有用硅烷经验的前辈们，怎么搭气路才能 保证不漏气。。。可以用塑料管代替钢管么。。 |
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