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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 解决硅烷气路漏气问题
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斯蒂芬v孙

银虫 (初入文坛)

[求助] 解决硅烷气路漏气问题 已有1人参与

我们组CVD生长硅纳米线的炉子，用的是纯的硅烷。气路用的不锈钢管，不锈钢球阀。
一直有漏气现象，不知道怎么办。。想问问有用硅烷经验的前辈们，怎么搭气路才能
保证不漏气。。。可以用塑料管代替钢管么。。
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1楼 2015-12-24 14:12:04
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watchsky

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

漏气多半是接头或阀门的质量问题，管子的可能性比较小，接头的话多半是没有焊接好。漏气分为外漏和内漏，题主说的是哪种？外漏就比较严重吧，硅烷遇氧会自燃甚至爆炸。
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2楼2016-01-18 13:08:44
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zemxldz

新虫 (初入文坛)
最后咋解决的
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3楼2021-07-05 10:44:09
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