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天地孤影i

银虫 (小有名气)

[求助] 请问XRD分析的三种扫描方式θ-2θ、ω和ψ扫描分别是什么意思啊已有2人参与

最近看到关于薄膜应力的论文,搞不懂了。。求助大神
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碧水云天

至尊木虫 (著名写手)

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这个如果实际操作过会比较好理解的。

简单一点将,θ-2θ(or ω-2θ scan)在薄膜里有很大程度上指的是掠入射衍射的程度。具体你可以参考小角掠入射模式。

ω-scan ,获得rocking curve,摇摆曲线,看薄膜某一晶面的生长受层错,应力等作用的影响。通俗点讲就是薄膜某一晶面长得好不好。从rocking curve里可以得出FWHM,此值越小生长程度越好。

ψ扫描是薄膜材料先倾斜一个角度(要扫的面和生长面的夹角)再自身旋转360度,一般用来分析样品面内排布(对称性,有无孪晶等)。
2楼2015-12-25 11:01:50
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sty112

荣誉版主 (小有名气)

【答案】应助回帖

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θ-2θ 是对称扫描,2θ永远是θ的两倍
ω-2θ,有一点类似,只不过有一个倾角, ω则不是2θ的一半,有一个微小的差值
3楼2015-12-25 21:15:35
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