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[求助] 请问XRD分析的三种扫描方式θ-2θ、ω和ψ扫描分别是什么意思啊已有2人参与

最近看到关于薄膜应力的论文，搞不懂了。。求助大神

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1楼 2015-12-23 22:15:13

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专业: 半导体晶体与薄膜材料

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

这个如果实际操作过会比较好理解的。

简单一点将，θ-2θ（or ω-2θ scan）在薄膜里有很大程度上指的是掠入射衍射的程度。具体你可以参考小角掠入射模式。

ω-scan ，获得rocking curve，摇摆曲线，看薄膜某一晶面的生长受层错，应力等作用的影响。通俗点讲就是薄膜某一晶面长得好不好。从rocking curve里可以得出FWHM，此值越小生长程度越好。

ψ扫描是薄膜材料先倾斜一个角度（要扫的面和生长面的夹角）再自身旋转360度，一般用来分析样品面内排布（对称性，有无孪晶等）。