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基于FEMAG-CZ热场仿真软件的单晶炉热场分析
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FEMAG 软件是全球首款商业的晶体生长数值模拟软件,致力于多物理场仿真分析晶体材料的生长过程,为用户提供晶体生长输运过程中的重要信息以及影响晶体质量的工艺信息. FEMAG-CZ热场仿真软件的单晶炉热场分析 |
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2015-12-17 13:19:33, 751.43 K
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