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GRINM文浪

铁虫 (小有名气)

[交流] 关于抽真空的疑问已有2人参与

碳管炉的真空系统有两个部分,一个是机械泵用来抽低真空,一个是扩散泵用来抽高真空。低真空时,电阻单元工作,高真空时电离单元工作,正常工作时都是测得炉内的真空度。当抽气结束,关闭真空阀门的时候,此时电阻单元真空度迅速降低。请问这个电阻单元测的到底是哪儿的真空度呢?是机械泵某部位的真空度吗?谢谢!
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Friend007

银虫 (知名作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by GRINM文浪 at 2015-12-18 11:57:44
谢谢!多问一句哈,机械泵上面那个方的东西是做什么用的?会不会在那里有测量的信号呢?因为每次抽完真空关闭主阀门和机械泵后,仪表显示真空度降低,但炉体内真空度没有变化,怀疑是不是机械泵上面有什么信号连接 ...

安楼主说的情况,应该在还有一个电阻规管在机械泵与主阀门之间。令,机械泵上方的东西应该是个电磁阀,不是电阻规管。

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6楼2015-12-18 12:10:24
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Friend007

银虫 (知名作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼主上传一个设备的真空系统图 我帮你看看

发自小木虫Android客户端
2楼2015-12-16 08:03:06
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GRINM文浪

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-16 08:03:06
楼主上传一个设备的真空系统图 我帮你看看

字母A标注的位置就是电阻规管和电离规管安装的位置,谢谢啦!
关于抽真空的疑问
A.jpg

3楼2015-12-17 10:26:00
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Friend007

银虫 (知名作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by GRINM文浪 at 2015-12-17 10:26:00
字母A标注的位置就是电阻规管和电离规管安装的位置,谢谢啦!

A.jpg
...

图上看关闭主阀门后,电阻规管测的是真空室的真空度。楼主还要看一下从机械泵到主阀门之间还有没有电阻规管,大部分的真空系统会有两个电阻规管。

发自小木虫Android客户端
4楼2015-12-17 16:44:59
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