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关于抽真空的疑问 已有2人参与
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| 碳管炉的真空系统有两个部分，一个是机械泵用来抽低真空，一个是扩散泵用来抽高真空。低真空时，电阻单元工作，高真空时电离单元工作，正常工作时都是测得炉内的真空度。当抽气结束，关闭真空阀门的时候，此时电阻单元真空度迅速降低。请问这个电阻单元测的到底是哪儿的真空度呢？是机械泵某部位的真空度吗？谢谢！ |
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2楼2015-12-16 08:03:06
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3楼2015-12-17 10:26:00
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图上看关闭主阀门后，电阻规管测的是真空室的真空度。楼主还要看一下从机械泵到主阀门之间还有没有电阻规管，大部分的真空系统会有两个电阻规管。 发自小木虫Android客户端 |
4楼2015-12-17 16:44:59
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5楼2015-12-18 11:57:44
6楼2015-12-18 12:10:24
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7楼2015-12-21 08:17:57
8楼2016-02-17 21:06:10