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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » CVD的衬底硅片可以重复利用吗？如果可以要怎么处理？
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天道有常

木虫 (著名写手)

[求助] CVD的衬底硅片可以重复利用吗？如果可以要怎么处理？ 已有2人参与

CVD的衬底硅片可以重复利用吗？如果可以要怎么处理？
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好好做科研
1楼 2015-12-10 19:02:12
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
湿法刻蚀掉长的膜不行吗？

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天道有常
2楼2015-12-10 20:12:29
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天道有常

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dorrnm at 2015-12-10 20:12:29
湿法刻蚀掉长的膜不行吗？

我们用CVD法长氧化物的纳米线，长完一次之后硅片可不可以重复用。如果可以，怎么清洗去除之前的样品，还有怎么把硅片表面弄光滑。
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好好做科研
3楼2015-12-10 21:38:05
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
天道有常: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2015-12-11 17:54:56
可以，但是成本不如买新的。
硅片很便宜的啊。你们做CVD的要求又不高。
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4楼2015-12-11 16:50:40
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天道有常

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-11 16:50:40
可以，但是成本不如买新的。
硅片很便宜的啊。你们做CVD的要求又不高。

对，这个确实是的，还是切小一点一次性使用就好

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好好做科研
5楼2015-12-11 17:54:47
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天道有常

木虫 (著名写手)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by dorrnm at 2015-12-10 20:12:29
湿法刻蚀掉长的膜不行吗？

6楼2015-12-11 17:55:40
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dorrnm

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 天道有常 at 2015-12-10 21:38:05
我们用CVD法长氧化物的纳米线，长完一次之后硅片可不可以重复用。如果可以，怎么清洗去除之前的样品，还有怎么把硅片表面弄光滑。...

氮化镓片子贵，重复利用的时候，用干法直接往下刻蚀平坦化，然后用HF，盐酸依次清洗无机物，然后先用丙酮煮，洗有机particle，然后用甲醇和去离子水洗。干燥了就可以用
省钱，但是重复利用有时候出了怪问题没法分析
六寸硅片一片也就一百多块钱，随便掰着玩

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7楼2015-12-11 21:19:05
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