24小时热门版块排行榜    

查看: 1950  |  回复: 6

天道有常

木虫 (著名写手)

[求助] CVD的衬底硅片可以重复利用吗?如果可以要怎么处理? 已有2人参与

CVD的衬底硅片可以重复利用吗?如果可以要怎么处理?
回复此楼
好好做科研
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
湿法刻蚀掉长的膜不行吗?

发自小木虫Android客户端

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2015-12-10 20:12:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

天道有常

木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dorrnm at 2015-12-10 20:12:29
湿法刻蚀掉长的膜不行吗?

我们用CVD法长氧化物的纳米线,长完一次之后硅片可不可以重复用。如果可以,怎么清洗去除之前的样品,还有怎么把硅片表面弄光滑。
好好做科研
3楼2015-12-10 21:38:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
天道有常: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2015-12-11 17:54:56
可以,但是成本不如买新的。
硅片很便宜的啊。你们做CVD的要求又不高。
4楼2015-12-11 16:50:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

天道有常

木虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-11 16:50:40
可以,但是成本不如买新的。
硅片很便宜的啊。你们做CVD的要求又不高。

对,这个确实是的,还是切小一点一次性使用就好

发自小木虫Android客户端
好好做科研
5楼2015-12-11 17:54:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

天道有常

木虫 (著名写手)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by dorrnm at 2015-12-10 20:12:29
湿法刻蚀掉长的膜不行吗?

6楼2015-12-11 17:55:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dorrnm

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 天道有常 at 2015-12-10 21:38:05
我们用CVD法长氧化物的纳米线,长完一次之后硅片可不可以重复用。如果可以,怎么清洗去除之前的样品,还有怎么把硅片表面弄光滑。...

氮化镓片子贵,重复利用的时候,用干法直接往下刻蚀平坦化,然后用HF,盐酸依次清洗无机物,然后先用丙酮煮,洗有机particle,然后用甲醇和去离子水洗。干燥了就可以用
省钱,但是重复利用有时候出了怪问题没法分析
六寸硅片一片也就一百多块钱,随便掰着玩

发自小木虫Android客户端
7楼2015-12-11 21:19:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 天道有常 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 有时候,自然基金真的不能太认真 (我的申报经验) +9 majunge000 2026-08-11 11/550 2026-08-15 23:20 by botar
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +6 wangze12014 2026-08-14 7/350 2026-08-15 20:12 by gltch
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的,真有人买论文么?感觉没必要啊 +12 Tide man 2026-08-10 13/650 2026-08-15 16:34 by 氺木
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +10 majunge000 2026-08-10 13/650 2026-08-15 12:26 by hanpeng972
[基金申请] 各位道友,我要去昆明玩几天,回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +7 启萌科技 2026-08-12 22/1100 2026-08-14 23:45 by Noways
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +4 yuleib84 2026-08-11 4/200 2026-08-14 23:05 by lfy8008
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +23 Lanmanbaby 2026-08-09 37/1850 2026-08-14 13:40 by Equinoxhua
[硕博家园] 读博的好处 +4 lnee 2026-08-11 4/200 2026-08-14 10:20 by ahsoarli
[基金申请] FileCode能看出啥? +10 要乐观耀哥 2026-08-10 32/1600 2026-08-14 09:37 by 要乐观耀哥
[文学芳草园] 阿姨 +4 汪汪锅 2026-08-09 4/200 2026-08-13 19:43 by arzu_hma
[基金申请] 静等基金结果 +8 gjjjzhong 2026-08-10 21/1050 2026-08-13 17:56 by 且听虎啸
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] Filecode 又变了,巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 结合人工智能,周易传统文化,filecode打分制来了,3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分? +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[基金申请] 什么时候出结果,有咨询渠道??? +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
信息提示
请填处理意见