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CVD的衬底硅片可以重复利用吗？如果可以要怎么处理？ 已有2人参与
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| CVD的衬底硅片可以重复利用吗？如果可以要怎么处理？ |
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dorrnm
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2楼2015-12-10 20:12:29
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氮化镓片子贵，重复利用的时候，用干法直接往下刻蚀平坦化，然后用HF，盐酸依次清洗无机物，然后先用丙酮煮，洗有机particle，然后用甲醇和去离子水洗。干燥了就可以用 省钱，但是重复利用有时候出了怪问题没法分析 六寸硅片一片也就一百多块钱，随便掰着玩 发自小木虫Android客户端 |
7楼2015-12-11 21:19:05