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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » CMP工艺过程中怎么保护读出电路？
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gongyanni

新虫 (初入文坛)

[求助] CMP工艺过程中怎么保护读出电路？已有1人参与

刚开始做这个工艺，我目前用的是光刻胶做保护胶，但抛光过程中胶容易被抛掉，容易伤到读出电路。所以想问问各位虫友有没有合适的胶种推荐，或者有更好的方法？另外，希望保护胶能够在工艺完成后被去除。
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1楼2015-12-10 12:52:44
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