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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » CMP工艺过程中怎么保护读出电路？
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gongyanni

新虫 (初入文坛)

[求助] CMP工艺过程中怎么保护读出电路？ 已有1人参与

刚开始做这个工艺，我目前用的是光刻胶做保护胶，但抛光过程中胶容易被抛掉，容易伤到读出电路。所以想问问各位虫友有没有合适的胶种推荐，或者有更好的方法？另外，希望保护胶能够在工艺完成后被去除。
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1楼 2015-12-10 12:52:44
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PXweng

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
您可以联系我，具体情况和我说下

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有事电话说嘛13925288900
2楼2015-12-11 13:36:05
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魏只只

新虫 (初入文坛)
貌似有丙酮可洗掉的蜡，融化温度会高点，在125℃，比较稠

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3楼2019-01-10 16:08:02
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gyxzby

铜虫 (小有名气)
生长保护层啊，保证在抛光过程不会被研磨掉啊，你抛光液用的什么颗粒，做起码你生长的保护层要比你的研磨颗粒硬啊！拿光刻胶保护是什么鬼？我第一次听说
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4楼2019-03-05 15:38:12
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