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CMP工艺过程中怎么保护读出电路？ 已有1人参与
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| 刚开始做这个工艺，我目前用的是光刻胶做保护胶，但抛光过程中胶容易被抛掉，容易伤到读出电路。所以想问问各位虫友有没有合适的胶种推荐，或者有更好的方法？另外，希望保护胶能够在工艺完成后被去除。 |
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