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conpepapro

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射外延金属薄膜 已有1人参与

最近想在磁控溅射上外延金属薄膜,请问有做过类似的吗?工艺条件如何把握,衬底用的是什么?金币太少,各位见谅啊!

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conpepapro

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by huihui2eat at 2015-12-09 13:27:20
不同的薄膜用不同的衬底,一般衬底蓝宝石、砷化镓、单晶硅片等都有用的,跟你做的实验项目也都有干系的~

IrMn一般是多晶,那外延用啥衬底好呢?

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3楼2015-12-09 17:41:48
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huihui2eat

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
不同的薄膜用不同的衬底,一般衬底蓝宝石、砷化镓、单晶硅片等都有用的,跟你做的实验项目也都有干系的~
2楼2015-12-09 13:27:20
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