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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 设计培养 » 磁控溅射外延金属薄膜
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conpepapro

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射外延金属薄膜 已有1人参与

最近想在磁控溅射上外延金属薄膜，请问有做过类似的吗？工艺条件如何把握，衬底用的是什么？金币太少，各位见谅啊！

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1楼 2015-12-06 16:33:50
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conpepapro

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by huihui2eat at 2015-12-09 13:27:20
不同的薄膜用不同的衬底，一般衬底蓝宝石、砷化镓、单晶硅片等都有用的，跟你做的实验项目也都有干系的~

IrMn一般是多晶，那外延用啥衬底好呢？

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3楼2015-12-09 17:41:48
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huihui2eat

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不同的薄膜用不同的衬底，一般衬底蓝宝石、砷化镓、单晶硅片等都有用的，跟你做的实验项目也都有干系的~
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2楼2015-12-09 13:27:20
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