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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】电镜高手讲讲SEM的能谱分析的精度
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m-m

金虫 (著名写手)
谢谢各位热心解答
9楼的朋友解释的很对
学习了。谢谢
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欲得其中,必求其上;欲得其上,必求上上.
11楼2008-09-21 19:22:32
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ldy3817

铜虫 (小有名气)
★
FLY_Phoenix(金币+1):欢迎交流
昨天看本书，说EDS的精度为6%《Ceramic Materials Science and Engineering>
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12楼2008-09-26 22:30:35
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temedx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by ldy3817 at 2008-9-26 22:30:
昨天看本书，说EDS的精度为6%《Ceramic Materials Science and Engineering>

EDS的精度跟好多方面有关：
1. 是SEM还是TEM测试
2. 是薄样品还是块样
3. 是轻元素还是重元素
4. 是低含量还是高含量
5. 有没有标样定标？
6. 样品所在区域周围的环境，操作电压等

如果都是最佳条件，那么0.5%的精度都能达到。如果都是最差条件，50%的误差也有可能。
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Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
13楼2008-09-27 08:54:28
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leida_80

新虫 (小有名气)

标样很重要

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
能谱定量，标样很重要，标样和样品的测试条件要一致，标样成分和样品越接近越好。
元素之间的干扰问题，可以结合软件和专业的资料判断。
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14楼2009-07-28 22:36:58
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niconice

金虫 (小有名气)
不是很准确，有一定的误差，因为成分多少会有一些不均匀，成分偏析之类的，肉眼看不见的，所以要多打几个点，找自己想要的那个点
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15楼2009-07-31 08:35:58
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