| 查看: 1397 | 回复: 2 | |||
即兴以来银虫 (初入文坛)
|
[求助]
求教光刻加工工艺 已有1人参与
|
|
菜鸟一个，最近刚开始研究光刻，想请教一下大家： 在SI基底上涂胶，光刻胶厚度会比较厚一点儿，分辨率要求没那么高，微米量级就可以了。 1.光刻都需要那些设备（甩胶机、曝光机……）？ 2.光刻的一个完成的工艺流程都包括什么步骤？ 3.我想做30μm厚的光刻胶，可以充分曝光吗？应该用那种光刻胶和光源？ 4.除胶应该怎么做？ 谢谢您的耐心回答！ |
回复此楼» 猜你喜欢
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有111人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2015-12-07 18:27:30
3楼2015-12-08 18:08:30
