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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求教光刻加工工艺
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即兴以来

银虫 (初入文坛)

[求助] 求教光刻加工工艺 已有1人参与

菜鸟一个，最近刚开始研究光刻，想请教一下大家：
在SI基底上涂胶，光刻胶厚度会比较厚一点儿，分辨率要求没那么高，微米量级就可以了。
1.光刻都需要那些设备（甩胶机、曝光机……）？
2.光刻的一个完成的工艺流程都包括什么步骤？
3.我想做30μm厚的光刻胶，可以充分曝光吗？应该用那种光刻胶和光源？
4.除胶应该怎么做？

谢谢您的耐心回答！
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相信自己！
1楼 2015-12-04 12:14:39
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

1.光刻机，匀胶机，热板，显微镜，通风橱，去离子水，玻璃器皿一堆。
2.清洗，烘烤，匀胶，前烘，曝光，显影，镜检，坚膜
3. 可以，只有厚度而不知道后面做什么用，是没办法推荐胶的。
4. 方法很多，要看你后面的工艺和采用的衬底是什么材料。
发短信留联系方式，可做进一步解答
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2楼2015-12-07 18:27:30
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苏州研究所

新虫 (初入文坛)
0512-62872500
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3楼2015-12-08 18:08:30
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