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即兴以来银虫 (初入文坛)
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[求助]
求教光刻加工工艺 已有1人参与
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菜鸟一个，最近刚开始研究光刻，想请教一下大家： 在SI基底上涂胶，光刻胶厚度会比较厚一点儿，分辨率要求没那么高，微米量级就可以了。 1.光刻都需要那些设备（甩胶机、曝光机……）？ 2.光刻的一个完成的工艺流程都包括什么步骤？ 3.我想做30μm厚的光刻胶，可以充分曝光吗？应该用那种光刻胶和光源？ 4.除胶应该怎么做？ 谢谢您的耐心回答！ |
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