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sherlock-p银虫 (初入文坛)
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极限真空升高,且不稳定,求大神指教~
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实验室的镀膜机(DMX-220)有一个月没用了,上次正常操作后一直没动它。这两天重新开机,发现真空老抽不上去,只能到3Pa左右,而且很不稳定。而且发现扩散泵开了就和没开一样,且泵工作时不时有“次啦”的像炒菜时少量水倒进热锅里的声音。检查可以基本排除漏气的可能,扩散泵电炉没有问题,看论坛里有帖子说冷却水过冷也会有影响,在想有没可能是现在冬天自来水温度低的原因,但减小水流量并没有太大效果。 求路过的大神指教,谢谢啦~ 发自小木虫Android客户端 |
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