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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 制备成型 » 极限真空升高，且不稳定，求大神指教～
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sherlock-p

银虫 (初入文坛)

[求助] 极限真空升高，且不稳定，求大神指教～

实验室的镀膜机(DMX-220)有一个月没用了，上次正常操作后一直没动它。这两天重新开机，发现真空老抽不上去，只能到3Pa左右，而且很不稳定。而且发现扩散泵开了就和没开一样，且泵工作时不时有“次啦”的像炒菜时少量水倒进热锅里的声音。检查可以基本排除漏气的可能，扩散泵电炉没有问题，看论坛里有帖子说冷却水过冷也会有影响，在想有没可能是现在冬天自来水温度低的原因，但减小水流量并没有太大效果。
求路过的大神指教，谢谢啦～

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1楼 2015-12-01 17:06:50
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yellow鑫

金虫 (正式写手)
1你扩散泵油正常吗？
2你做什么薄膜，会不会吸潮？

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两肩如铁，胸襟似海。
2楼2015-12-01 18:35:12
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yellow鑫

金虫 (正式写手)
你是如何排除漏气可能的？会不会天气冷，你的密封圈老化后，密封不好了

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两肩如铁，胸襟似海。
3楼2015-12-01 18:36:36
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sherlock-p

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yellow鑫 at 2015-12-01 18:35:12
1你扩散泵油正常吗？
2你做什么薄膜，会不会吸潮？

两个月前换过一次新油，275硅油，所以油应该没有问题。
现在镀的铜膜，不会有吸潮的。

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4楼2015-12-01 18:58:19
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sherlock-p

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yellow鑫 at 2015-12-01 18:36:36
你是如何排除漏气可能的？会不会天气冷，你的密封圈老化后，密封不好了

但室内温度和以前没太大区别啊～

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5楼2015-12-01 18:58:59
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yellow鑫

金虫 (正式写手)
应该是机械泵坏了。。。

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6楼2015-12-01 19:05:02
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sherlock-p

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yellow鑫 at 2015-12-01 19:05:02
应该是机械泵坏了。。。

为什么啊？请大神明示～

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7楼2015-12-01 19:19:50
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yellow鑫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by sherlock-p at 2015-12-01 19:19:50
为什么啊？请大神明示～
...

我也是猜的，看到你说的，抽出下去。但是能到3pa.你机械泵平时抽的极限压强是多少？

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8楼2015-12-01 19:32:22
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yellow鑫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by yellow鑫 at 2015-12-01 19:32:22
我也是猜的，看到你说的，抽出下去。但是能到3pa.你机械泵平时抽的极限压强是多少？
...

不是大神啊，我也不懂，只是猜的

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9楼2015-12-01 19:37:26
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atmlcy

金虫 (小有名气)
是否扩散泵有污染了？排除后可烘一下炉子，再抽真空试试
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10楼2016-03-11 16:56:12
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