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sherlock-p银虫 (初入文坛)
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[求助]
极限真空升高，且不稳定，求大神指教～
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实验室的镀膜机(DMX-220)有一个月没用了，上次正常操作后一直没动它。这两天重新开机，发现真空老抽不上去，只能到3Pa左右，而且很不稳定。而且发现扩散泵开了就和没开一样，且泵工作时不时有“次啦”的像炒菜时少量水倒进热锅里的声音。检查可以基本排除漏气的可能，扩散泵电炉没有问题，看论坛里有帖子说冷却水过冷也会有影响，在想有没可能是现在冬天自来水温度低的原因，但减小水流量并没有太大效果。 求路过的大神指教，谢谢啦～ 发自小木虫Android客户端 |
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