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cc250木虫 (正式写手)
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Si片背面的欧姆接触 已有4人参与
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大家好。我最近在做Si背面的欧姆接触，Si是重掺杂的低阻Si，单抛。我想知道，如何在其背面形成欧姆接触呢？接触金属用的是PVD的TiN,在正面已经验证是欧姆接触了。就是不知道背面是没抛光的，是否也能做成欧姆接触？ 如果不用TiN,大家都用的什么呢，如何制备的呢？希望大家帮帮我，多谢~ |
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