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用FIB切割用PMMA裹着的ZnO纳米线,请问后期怎么将ZnO表面的PMMA处理掉
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用FIB切割用PMMA裹着的ZnO纳米线,请问后期怎么将ZnO表面的PMMA处理掉
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用FIB(Ga离子源)切割用PMMA裹着的ZnO纳米线,请问后期怎么将ZnO表面的P
MMA处理掉(ps:Ga离子轰击后PMMA已变质)
}6WWCS5`O)25C9$Z3NA}5EY.png
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干法刻蚀掉应该可以 因为氧化锌不存在刻蚀的问题,所以选择性还是可以的
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2015-11-27 19:09:26
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热丙酮,先用丙酮蒸汽除,然后浸入
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2015-11-28 00:08:24
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FIB,好高端,我们实验室的一个博士是用化学合成PMMA包覆的纳米线,后面用热处理一下300~350℃,10分钟左右,就可以把PMMA 去掉了
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5楼
2015-11-28 00:39:27
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Originally posted by
xiaoyueriyue
at 2015-11-28 00:39:27
FIB,好高端,我们实验室的一个博士是用化学合成PMMA包覆的纳米线,后面用热处理一下300~350℃,10分钟左右,就可以把PMMA 去掉了
运动离子束轰击的,发生变形了,以前加热60度作用,没法弄掉!
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6楼
2015-12-03 16:59:43
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叫我小川兄吧
at 2015-11-28 00:08:24
热丙酮,先用丙酮蒸汽除,然后浸入
试过,60度丙酮加热,30分钟后电镜下面观察没有处理掉!
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7楼
2015-12-03 17:04:11
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枫之海角
at 2015-12-03 17:04:11
试过,60度丙酮加热,30分钟后电镜下面观察没有处理掉!...
60度不行,要140度
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8楼
2015-12-03 18:36:02
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