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用FIB切割用PMMA裹着的ZnO纳米线,请问后期怎么将ZnO表面的PMMA处理掉
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枫之海角
新虫
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[交流]
用FIB切割用PMMA裹着的ZnO纳米线,请问后期怎么将ZnO表面的PMMA处理掉
已有4人参与
用FIB(Ga离子源)切割用PMMA裹着的ZnO纳米线,请问后期怎么将ZnO表面的P
MMA处理掉(ps:Ga离子轰击后PMMA已变质)
}6WWCS5`O)25C9$Z3NA}5EY.png
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1楼
2015-11-27 16:03:22
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枫之海角
新虫
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专业: 集成电路设计与测试
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5楼
:
Originally posted by
xiaoyueriyue
at 2015-11-28 00:39:27
FIB,好高端,我们实验室的一个博士是用化学合成PMMA包覆的纳米线,后面用热处理一下300~350℃,10分钟左右,就可以把PMMA 去掉了
运动离子束轰击的,发生变形了,以前加热60度作用,没法弄掉!
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6楼
2015-12-03 16:59:43
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babyoflion
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干法刻蚀掉应该可以 因为氧化锌不存在刻蚀的问题,所以选择性还是可以的
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3楼
2015-11-27 19:09:26
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叫我小川兄吧
木虫
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性别: GG
专业: 半导体材料
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
热丙酮,先用丙酮蒸汽除,然后浸入
发自小木虫Android客户端
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慎独
4楼
2015-11-28 00:08:24
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xiaoyueriyue
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
FIB,好高端,我们实验室的一个博士是用化学合成PMMA包覆的纳米线,后面用热处理一下300~350℃,10分钟左右,就可以把PMMA 去掉了
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5楼
2015-11-28 00:39:27
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