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橙子飞刀

新虫 (小有名气)

[求助] ITO薄膜可不可以做500度左右的热处理已有1人参与

我看文献说ITO制备最后的退火步骤都有500度的,难道制备好的ITO不能经受500度的退火么?我看有人说fto才可以,ito不耐热,是不是这样的

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ymmlxy

铜虫 (著名写手)

楼主解决了吗?有没做过退火温度500的实验

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12楼2016-08-24 08:56:32
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ymmlxy

铜虫 (著名写手)

引用回帖:
13楼: Originally posted by guoqinghu at 2016-08-24 23:30:17
我做过550退火的,作为电极影响不大。ito的电阻会随着温度的增高变大,高温最好使用fto
...

恩好的,非常感谢。
14楼2016-08-25 08:38:09
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ymmlxy

铜虫 (著名写手)

请问下你用的退火炉是什么型号的?

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15楼2016-08-25 14:16:40
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