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橙子飞刀

新虫 (小有名气)

[求助] ITO薄膜可不可以做500度左右的热处理已有1人参与

我看文献说ITO制备最后的退火步骤都有500度的,难道制备好的ITO不能经受500度的退火么?我看有人说fto才可以,ito不耐热,是不是这样的

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guoqinghu

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
12楼: Originally posted by ymmlxy at 2016-08-24 08:56:32
楼主解决了吗?有没做过退火温度500的实验

我做过550退火的,作为电极影响不大。ito的电阻会随着温度的增高变大,高温最好使用fto

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13楼2016-08-24 23:30:17
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guoqinghu

铁虫 (初入文坛)

快速退货炉,国产的好像是RTP600,还有一个台湾的不记得什么型号了

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16楼2016-08-25 23:25:25
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guoqinghu

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
15楼: Originally posted by ymmlxy at 2016-08-25 14:16:40
请问下你用的退火炉是什么型号的?

快速退货炉,国产的有个rtp600,台湾的那个不记得了

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17楼2016-08-25 23:27:34
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