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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求电子束曝光工艺的文献。。
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syr90

金虫 (小有名气)

[求助] 求电子束曝光工艺的文献。。 已有1人参与

熟悉微加工的朋友，请教几篇关于  11nm电子束曝光工艺流程或进展 的相关文献，，文献，，文献。
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1楼 2015-11-23 18:54:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

11nm？？？
为什么是11nm？？？
电子束光刻几个nm都可以做啊，干嘛要特定11nm？？？
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2楼2015-11-26 22:39:42
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syr90

金虫 (小有名气)
现在加工精度和最小线宽，是多少？不限定11nm只是比如。

发自小木虫Android客户端
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3楼2015-11-27 14:54:10
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