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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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syr90

金虫 (小有名气)

[求助] 求电子束曝光工艺的文献。。 已有1人参与

熟悉微加工的朋友,请教几篇关于  11nm电子束曝光工艺流程或进展 的相关文献,,文献,,文献。
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

11nm???
为什么是11nm???
电子束光刻几个nm都可以做啊,干嘛要特定11nm???
2楼2015-11-26 22:39:42
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syr90

金虫 (小有名气)

现在加工精度和最小线宽,是多少?不限定11nm只是比如。

发自小木虫Android客户端
3楼2015-11-27 14:54:10
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