24小时热门版块排行榜    

查看: 684  |  回复: 2

syr90

金虫 (小有名气)

[求助] 求电子束曝光工艺的文献。。 已有1人参与

熟悉微加工的朋友,请教几篇关于  11nm电子束曝光工艺流程或进展 的相关文献,,文献,,文献。
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

11nm???
为什么是11nm???
电子束光刻几个nm都可以做啊,干嘛要特定11nm???
2楼2015-11-26 22:39:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

syr90

金虫 (小有名气)

现在加工精度和最小线宽,是多少?不限定11nm只是比如。

发自小木虫Android客户端
3楼2015-11-27 14:54:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 syr90 的主题更新
信息提示
请填处理意见