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d7220923

木虫 (正式写手)

[求助] SEM测试问题求教 已有1人参与

为什么我测试SEM时放电很严重啊,无法看形貌。样品是喷了金的。但就是没办法看。现在都是一头雾水,求各位大神帮帮忙

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

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感谢参与,应助指数 +1
d7220923: 金币+20, ★★★很有帮助, 喷金是老师操作的,anyway,谢谢 2015-11-25 07:38:44
样品喷金时要使样品表面和样品台基座处于电导通状态,这样才可将电子束打来的电子及时排走,从而不影响后续电子的飞行轨迹。否则,由于表面电荷的积累影响电子束的运动轨迹,必然看不清楚样品了。
2楼2015-11-24 21:26:21
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d7220923

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-11-24 21:26:21
样品喷金时要使样品表面和样品台基座处于电导通状态,这样才可将电子束打来的电子及时排走,从而不影响后续电子的飞行轨迹。否则,由于表面电荷的积累影响电子束的运动轨迹,必然看不清楚样品了。

我想要一个solution,而不是explanation

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3楼2015-11-24 22:35:06
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
3楼: Originally posted by d7220923 at 2015-11-24 22:35:06
我想要一个solution,而不是explanation
...

知道了原因自然就可以有针对性地提出解决办法了。用根铜的薄带或细丝使观察的表面和试样台基座处于电导通的状态(相当于接地)。表面喷金后,表面任何地方若有电荷存在就会被及时地排除掉了。
4楼2015-11-25 06:11:43
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