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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 超高真空腔体内的剩余气体（主要是氢气）
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madboy

银虫 (小有名气)

[交流] 超高真空腔体内的剩余气体（主要是氢气）

有人知道，超高真空腔体内的剩余气体（主要是氢气）的来源吗？
目前认为氢气的来源主要是不锈钢腔体内部释放出来的，那是否意味着在腔体使用前，只要烘烤过足够长的时间后腔体材料内部的氢气除去，就可以达到很高的真空度了？即使腔体再次开腔，腔体内部的氢气也会很少？但是显然实际情况不是如此。
还有一种说法是，氢气可以透过不锈钢腔体进入真空环境，不知道是否有根据？
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淡泊名利，宁静致远
1楼 2015-11-20 18:24:58
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我们玩换座位

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by madboy at 2015-11-20 23:16:26
那你的-10的腔体，mass spec检测主要是28和40的峰吗？...

检测了好多，还有二氧化碳，洋气，水之类的。但含量大概都在10-11~10-12量级
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8楼2015-11-21 01:43:15
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lour09

银虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
madboy: 金币+1, 谢谢 2015-11-20 23:14:31
一般现在用作高真空腔体的不锈钢的加工过程中会有氢气的参与，所以一般新的腔体会自主释放氢气，这是正常的，而且也是很难抽掉的，差不多等一年多腔体自身的氢气释放完了就会好很多。

一般的真空规对氢气的检测不敏感，所以氢气的含量多少不会太影响表观的真空度，但是。。 你懂的。
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努力是永远不会背叛人的。
4楼2015-11-20 19:40:03
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
氢气比其他气体难被泵抽走也是一个原因。
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5楼2015-11-20 20:32:20
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我们玩换座位

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
想要达到更高的真空度一般都需要烘烤，除了氢气外，腔体内应该还有少量一氧化碳，氩气一类。之前用mass spectrum测过，在~10-10mbar的真空腔体内，氢气的含量大概在10-12mbar的量级，觉得已经含量挺少的了。氢气的确很难去除的，因为质量轻，很难被泵体抽走。
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6楼2015-11-20 21:17:12
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