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madboy

银虫 (小有名气)

[交流] 超高真空腔体内的剩余气体(主要是氢气)

有人知道,超高真空腔体内的剩余气体(主要是氢气)的来源吗?
目前认为氢气的来源主要是不锈钢腔体内部释放出来的,那是否意味着在腔体使用前,只要烘烤过足够长的时间后腔体材料内部的氢气除去,就可以达到很高的真空度了?即使腔体再次开腔,腔体内部的氢气也会很少?但是显然实际情况不是如此。
还有一种说法是,氢气可以透过不锈钢腔体进入真空环境,不知道是否有根据?

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淡泊名利,宁静致远
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金虫 (正式写手)


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想要达到更高的真空度一般都需要烘烤,除了氢气外,腔体内应该还有少量一氧化碳,氩气一类。之前用mass spectrum测过,在~10-10mbar的真空腔体内,氢气的含量大概在10-12mbar的量级,觉得已经含量挺少的了。氢气的确很难去除的,因为质量轻,很难被泵体抽走。
6楼2015-11-20 21:17:12
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金虫 (正式写手)


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引用回帖:
7楼: Originally posted by madboy at 2015-11-20 23:16:26
那你的-10的腔体,mass spec检测主要是28和40的峰吗?...

检测了好多,还有二氧化碳,洋气,水之类的。但含量大概都在10-11~10-12量级
8楼2015-11-21 01:43:15
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金虫 (正式写手)

引用回帖:
9楼: Originally posted by metaliium at 2015-11-21 09:18:32
你们是干什么的要这么高真空?...

做STM的
11楼2015-11-22 04:53:55
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