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zlyzht

金虫 (小有名气)

[求助] 请问大家Si3N4薄膜的抗拉强度 已有1人参与

请问大家Si3N4薄膜(500nm)的抗拉强度是多少呢?PECVD和LPCVD SiN分别是多少呢?
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zlyzht

金虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by peterflyer at 2015-11-20 21:46:04
陶瓷材料是脆性材料,因此一般情况下不测抗拉强度,仅测抗弯强度,而一般的手册中也只有抗弯强度。建议楼主先使用块体材料的抗弯强度来模拟薄膜的抗弯变形和断裂。...

谢谢,我再查查
7楼2015-11-29 10:08:16
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dorrnm

金虫 (小有名气)

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楼主干什么用到这个参数?

发自小木虫Android客户端
2楼2015-11-20 00:55:59
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zhaoli8805

新虫 (小有名气)

您现在在做氮化硅薄膜?

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2015-11-20 12:48:20
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zlyzht

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dorrnm at 2015-11-20 00:55:59
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楼主干什么用到这个参数?

我在模拟材料力学性能时需要判断达到某个力时薄膜是否会破裂,因此需要知道氮化硅薄膜的断裂强度
4楼2015-11-20 13:08:17
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