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zlyzht

金虫 (小有名气)

[求助] 请问大家Si3N4薄膜的抗拉强度 已有1人参与

请问大家Si3N4薄膜(500nm)的抗拉强度是多少呢?PECVD和LPCVD SiN分别是多少呢?
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zlyzht

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dorrnm at 2015-11-20 00:55:59
关注,顶一个
楼主干什么用到这个参数?

我在模拟材料力学性能时需要判断达到某个力时薄膜是否会破裂,因此需要知道氮化硅薄膜的断裂强度
4楼2015-11-20 13:08:17
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dorrnm

金虫 (小有名气)

关注,顶一个
楼主干什么用到这个参数?

发自小木虫Android客户端
2楼2015-11-20 00:55:59
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zhaoli8805

新虫 (小有名气)

您现在在做氮化硅薄膜?

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2015-11-20 12:48:20
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dorrnm

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by zlyzht at 2015-11-20 13:08:17
我在模拟材料力学性能时需要判断达到某个力时薄膜是否会破裂,因此需要知道氮化硅薄膜的断裂强度...

哦~

发自小木虫Android客户端
5楼2015-11-20 13:44:08
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