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具有毫米量级结构PI（聚酰亚胺）薄膜制备
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我们想在PI薄膜上制备5mm~1mm大小左右量级（直径），高度1mm~2mm,的圆形突起但是具体工艺不是太清楚希望解答。 1.模版选择，是选择Al板还是选用Si作为模板比较好。 2.对模版刻蚀是采用化学方法还是机械方法比较好。 3.PI使用旋涂法在模板上制备薄膜，模板是否需要预处理。PI薄膜怎样剥离。 ###我曾去找过一些文献，但是中文文献基本上没有找到相似的文献，英文文献相关的也比较少。如果能给出一些好的检索关键词也可以！！！ |
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