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x小西瓜虫

金虫 (小有名气)

[求助] 具有毫米量级结构PI(聚酰亚胺)薄膜制备

我们想在PI薄膜上制备5mm~1mm大小左右量级(直径),高度1mm~2mm,的圆形突起但是具体工艺不是太清楚希望解答。
1.模版选择,是选择Al板还是选用Si作为模板比较好。
2.对模版刻蚀是采用化学方法还是机械方法比较好。
3.PI使用旋涂法在模板上制备薄膜,模板是否需要预处理。PI薄膜怎样剥离。
###我曾去找过一些文献,但是中文文献基本上没有找到相似的文献,英文文献相关的也比较少。如果能给出一些好的检索关键词也可以!!!
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workformyself
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1491753640

铁虫 (初入文坛)

我也想知道PI膜怎么剥离?
君子藏器于身,待时而动,何不利之有?
2楼2019-08-28 09:15:53
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