| 查看: 129 | 回复: 1 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
feiliao8170木虫 (小有名气)
|
[交流]
【求助】关于离子束辅助沉积氮化碳薄膜表面质量问题？
|
||
|
采用离子束辅助沉积的方法制备氮化碳（CNx）薄膜，基片正下方为碳靶，采用电子束蒸发沉积，45度角方向为辅助N+离子束，镀膜过程中基片旋转。 正常情况下沉积后的薄膜表面应该是光滑均匀的，但是现在发现薄膜表面总会出现一些环状的不同区域，此区域与薄膜其他部分反光明显不同。 谁能帮忙分析一下原因何在？是辅助氮离子束，还是蒸发碳膜出现问题？ 谢谢了。 |
回复此楼» 猜你喜欢
拟解决的关键科学问题还要不要写
已经有7人回复
-
存款400万可以在学校里躺平吗
已经有19人回复
-
国自然申请面上模板最新2026版出了吗？
已经有19人回复
-
请教限项目规定
已经有3人回复
-
基金委咋了？2026年的指南还没有出来？
已经有10人回复
-
基金申报
已经有6人回复
-
推荐一本书
已经有13人回复
-
纳米粒子粒径的测量
已经有8人回复
-
疑惑？
已经有5人回复
-
计算机、0854电子信息（085401-058412）调剂
已经有5人回复
feiliao8170
木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2496.9
- 帖子: 155
- 在线: 214.5小时
- 虫号: 579548
- 注册: 2008-07-11
- 专业: 机械摩擦学与表面技术
2楼2008-09-17 21:27:49