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feiliao8170木虫 (小有名气)
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【求助】关于离子束辅助沉积氮化碳薄膜表面质量问题？
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采用离子束辅助沉积的方法制备氮化碳（CNx）薄膜，基片正下方为碳靶，采用电子束蒸发沉积，45度角方向为辅助N+离子束，镀膜过程中基片旋转。 正常情况下沉积后的薄膜表面应该是光滑均匀的，但是现在发现薄膜表面总会出现一些环状的不同区域，此区域与薄膜其他部分反光明显不同。 谁能帮忙分析一下原因何在？是辅助氮离子束，还是蒸发碳膜出现问题？ 谢谢了。 |
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feiliao8170
木虫 (小有名气)
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2楼2008-09-17 21:27:49