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912694096

铜虫 (正式写手)

[求助] 去除光刻胶上电极 已有2人参与

各位亲,,

第一步:将光刻胶旋涂在硅片衬底上;第二步:在光刻胶上磁控溅射Au和Cr;第三步,泡在丙酮里去除在光刻胶上的金和铬;

发现:几个微米级别的很小的金和铬去不掉;

问题:还可以怎样去除?

结构从上到下为Au,Cr,光刻胶,SiO2,Si片
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maoxin52125

禁虫 (初入文坛)

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15楼2017-04-20 09:13:56
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