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Tao9186

银虫 (初入文坛)

[求助] IGZO晶化 已有1人参与

非晶 IGZO在多少度会发生晶化?求解答!!!我看退火温度一般在300度左右,非晶 IGZO在300-400度保持3-5h会发生晶化吗?
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jiangcs02

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

不会,Sputter沉积后的IGZO薄膜,加热到1000度,在XRD中才能发现结晶峰。
如果做CAAC的情况,需要在多晶IGZO Target,300度沉积的条件下,才能获得,沉积参数也需要调节(比较严格)。
2楼2015-12-29 09:58:11
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