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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » IGZO晶化
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Tao9186

银虫 (初入文坛)

[求助] IGZO晶化 已有1人参与

非晶 IGZO在多少度会发生晶化？求解答！！！我看退火温度一般在300度左右，非晶 IGZO在300-400度保持3-5h会发生晶化吗？
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1楼 2015-11-18 15:49:33
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jiangcs02

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

不会，Sputter沉积后的IGZO薄膜，加热到1000度，在XRD中才能发现结晶峰。
如果做CAAC的情况，需要在多晶IGZO Target，300度沉积的条件下，才能获得，沉积参数也需要调节（比较严格）。
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2楼2015-12-29 09:58:11
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