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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 薄膜铂电阻的基片选择
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zju2015

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜铂电阻的基片选择 已有3人参与

现在要做一个薄膜铂电阻，请问基片选择什么比较好？            普通硅片、SOI、氧化铝陶瓷、还是玻璃？
一般基片与顶层铂电阻层之间还需要其他金属膜作为过渡层吗？
第一次接触这个东西，没有任何经验，请问有没有做过的？给点建议吧
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1楼 2015-11-18 11:10:47
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倦书徐行

银虫 (小有名气)
同问啊楼主，我想问一下氧化硅作基底是否可行，
而且有没有成熟的溅射参数呀？
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6楼2017-02-28 15:17:08
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