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zju2015

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜铂电阻的基片选择 已有3人参与

现在要做一个薄膜铂电阻,请问基片选择什么比较好?            普通硅片、SOI、氧化铝陶瓷、还是玻璃?
一般基片与顶层铂电阻层之间还需要其他金属膜作为过渡层吗?
第一次接触这个东西,没有任何经验,请问有没有做过的?给点建议吧
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倦书徐行

银虫 (小有名气)

同问啊楼主,我想问一下氧化硅作基底是否可行,
而且有没有成熟的溅射参数呀?
6楼2017-02-28 15:17:08
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